연마 공정 중 발생하는 열로 인해 시료가 변형되는 것을 막으려면 패드의 건조를 방지하고 냉각 효율을 극대화해야 합니다.
이때 사용하는 윤활제는 성분에 따라 각기 다른 특성을 가집니다.
알코올 계열은 수분 접촉을 피해야 하거나 정밀한 온도 제어가 필수적인 공정등 냉각에 중점을 두는 공정에 유용하며,
가장 보편적인 수성 계열은 일반적인 공정이나 수동 제어 환경에 두루 쓰입니다.
마지막으로 글리콜 계열은 수분에 취약한 소재를 다룰 때뿐만 아니라